壓力傳感器的敏感原理不僅有電容式、壓阻式、金屬應變式、霍爾式、振筒式等等但仍以電容式、壓阻式和金屬應變式傳感器zui為多見。金屬應變式壓力變送器是一種歷史較長的壓力傳感器,但由于它存在遲滯、蠕變及溫度性能差等缺點,其應用場合受到了很大的限制。壓阻式傳感器是利用半導體壓阻效應制造的一種新型的傳感器,它具有制造方便,成本低廉等特點,但由于半導體材料對溫度極為敏感,所以其性能受溫度影響較大,產品的一致性較差。電容式壓力變送器是應用zui廣泛的一種壓力變送器,其原理十分簡單。一個無限大平行平板電容器的電容值可表示為: C= ε s/d(ε為平行平板間介質的介電常數,d為極板的間距, s為極板的覆蓋面積)改變其中某個參數,即可改變電容量。由于結構簡單,幾乎所有電容式壓力變送器均采用改變間隙的方法來獲得可變電容。電容式壓力變送器的初始電容值較小,一般為幾十皮法,它極易受到導線電容和電路的分布電容的影響,因而必須采用*的
電子
線路才能
檢測
出電容的微小變化。可以說,一個好的電容式傳感器應該是可變電容設計和信號處理電路的結合。
壓力變送器
采用了結構簡單、堅固耐用且極穩定的可變電容形式,可變電容由壓力腔上的膜片和固定在其上的絕緣電極所組成,當感受到壓力變化時,膜片要產生微微的翹曲變形,從而改變了兩極的間距,采用 Setra*的檢測電路測電容的微小變化,并進行線性處理和溫度補償。傳感器輸出與被測壓力成正比的直流電壓或電流信號。精巧的結構、高性能的材料及*的檢測電路的結合,賦予了 Setra壓力變送器以很高的性能。
|